通過(guò)影像成像系統(tǒng)及光源從上表面垂直于被測(cè)板，呈顯影像（相機(jī)實(shí)時(shí)拍圖）感測(cè)，并將圖像傳送至電腦測(cè)量軟件，通過(guò)軟件測(cè)量工具分析圖像的“線寬/線距/線寬上下幅/圓/金手指線寬等”標(biāo)準(zhǔn)公差值對(duì)比，從而判斷被測(cè)板上的測(cè)量值。

檢測(cè)印刷電路板內(nèi)、外層半成品經(jīng)顯影蝕刻后（上綠油前）線路的上幅及下幅寬度，線與線的距離，孔圓直徑、圓心距、孔到邊線的距離等。同時(shí)可擴(kuò)展應(yīng)用于IC晶片線寬線距的測(cè)量，film寬度測(cè)量，LCD線路板測(cè)量等顯微測(cè)距場(chǎng)合。